Het structureren van glas met behulp van etstechnieken

Het bewerken, misschien beter, het behandelen van glas met behulp van een chemisch etsmiddel, is niet nieuw. Deze processen worden veelvuldig en al lang voor het schoonmaken of het matteren van glasoppervlakken toegepast. Het precisie bewerken van glas met behulp van de combinatie van fotolithografie en etstechnieken, waarbij aan de gerealiseerde structuren vaak ook nog hoge kwaliteitseisen worden gesteld, heeft pas in de laatste jaren duidelijker gestalte gekregen. Twee structuurtypen zijn te onderscheiden: structuren die zich op het oppervlak bevinden en die te realiseren zijn door het hele oppervlak, met uitzondering van de gedeeltes waar zich de structuren bevinden, weg te etsen en structuren die in het glassubatraat ge?tst zijn.

Download Mikroniek 1-1984

Back to overview

We use cookies to improve your experience on our website

References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.