Samenvatting, IOP Multi-axis microstage

Electronics Micro system technology MEMS/NEMS Optics
IOP by Herman Soemers 28 November 2008

Nauwkeurig kunnen manipuleren van kleine objecten in het sub-micronbereik is van groot belang voor toepassingen als dataopslag, microassemblage en elektronenmicroscopie. Het daarvoor benodigde systeem – bestaande uit sensoren, actuatoren, mechanische onderdelen en regeltechniek – wordt echter steeds groter. In dit IOP-project onderzocht de Universiteit Twente de mogelijkheden van MEMS-procestechnologie om een micromanipulator met zes graden van vrijheid te realiseren voor een microstage in een transmissie elektronenmicroscoop. Het project heeft geresulteerd in een groot aantal ontwerpprincipes voor nauwkeurige mechanismen in MEMS, MEMS-technologieën voor robuuste elastische mechanismen en een verbeterd ontwerp van MEMS-actuatoren. Er zijn twee oplossingen uitgewerkt en uitgevoerd in MEMS. Een vervolgproject. mede gefinancierd door Point-One, wordt uitgevoerd door de Universiteit Twente, Demcon en FEI Electron Optics.

Download IOP
Back to overview

References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Read more
Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Read more
Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.

Read more