Sub-nanometer interferometrie

Electronics Micro system technology MEMS/NEMS Optics
IOP by Rob Bergmans 12 November 2008

Laserinterferometers en lineaire meetsystemen hebben een resolutie op nanometer- of zelfs subnanometer niveau. Waarschijnlijk is hun werkelijke nauwkeurigheid zelfs een factor tien hoger, maar dat kon tot nu toe niet worden bepaald. Het IOP-project Sub-nanometer interferometrie heeft dat probleem opgelost. Met de resultaten zijn zowel bedrijven als onderzoekers zeer tevreden.


References

Order of frictions and stiffnesses…

For lumped systems consisting of different frictions and stiffnesses, there has been confusion in literature about hysteresis curves and virtual play for many decades.

Read more
Make it clean

In mid-April, the second edition of the Manufacturing Technology Conference and the fifth edition of the Clean Event were held together, for the first time, at the Koningshof in Veldhoven (NL).

Read more
Bringing particles to light

Particle contamination monitoring and cleanliness control are fundamental to micromanufacturing processes across diverse industries to achieve cost-effective production of high-quality and reliable microscale devices and components.

Read more